Sw3.6-m12-1.2-Slajd14
Z Studia Informatyczne
Systemy mikromechaniczne MEMS (ang. Micro Electro Mechanical System)
W opracowaniu przedstawiono wybrane, wytwarzane na skalę masową nowe rozwiązania przetworników. Jedną zdziedzin intensywnie rozwijających się wostatnich latach wramach nanotechnologii są systemy mikro-elektromechaniczne (MEMS – ang. MicroElectro Mechanical System oraz iMEMS – ang. integrated Micro Elektro Mechanical System). Wramach MEMS, głównie na bazie krzemu, powstają nie tylko nowoczesne rozwiązania sensorów, ale również mikroukłady wykonawcze (mikroaktywatory). Coraz więcej czujników wykonywanych jest w technologii mikromechanicznej (MEMS).
